Pat

J-GLOBAL ID：200903006162357429

厚膜パターン形成方法

Inventor： 小坂 陽三 ,  倉持 悟
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 土井 育郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997045099
Publication number (International publication number)：1998055758
Application date： Feb. 28, 1997
Publication date： Feb. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】 簡単な工程で精度の高いパターンを得られる厚膜パターン形成方法を提供する。【解決手段】 フィルム11上に感光性ペーストを塗布してパターン形成層12を形成し、このパターン形成層12が対向するようにしてガラス基板13にフィルム11をラミネートする。そして、フィルム11の上からマスクMを介して露光し、フィルム11を剥離した後、現像して未露光部12aを除去し、焼成工程を経てパターン14を得る。パターン形成層12に粘着性がない場合、フィルム11を剥離してから露光するようにしてもよい。パターン形成層12を基板13上に位置させて露光するため、工程の簡略化が図れるとともに、膜厚の均一性が良好なパターンが形成できる。

Claim (excerpt)：

少なくとも次の工程を含むことを特徴とする厚膜パターン形成方法。(1)感光性ペーストを予めフィルムに塗布して当該フィルム上にパターン形成層を形成する第1工程。(2)前記フィルムをそのパターン形成層側が対向するようにしてガラス基板にラミネートする第2工程。(3)前記フィルムの上から所定のマスクを介して前記パターン形成層を露光する第3工程。(4)前記フィルムを剥離した後、前記パターン形成層を現像して未露光部を除去する第4工程。(5)基板全体を焼成してパターン形成層の露光部をガラス基板に密着させる第5工程。

IPC (2)：

H01J 9/14 ,  H01J 9/02

FI (2)：

H01J 9/14 D ,  H01J 9/02 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-165538
  
• カラーフィルタ用着色ペースト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-053667   Applicant：東レ株式会社
• 感光性ペースト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-116375   Applicant：東レ株式会社