カンチレバー振幅測定方法および非接触原子間力顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：蛭川昌信 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998194762
Publication number (International publication number)：2000028511
Application date： Jul. 09, 1998
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】非接触原子間力顕微鏡において、カンチレバーの発振振幅を直接正確に求められるようにする。【解決手段】非接触原子間力顕微鏡のカンチレバーを加振して固有周波数で発振させた状態で試料1とカンチレバー2間の距離を変化させたときの距離変化に対するカンチレバー発振周波数の変化特性を、異なるカンチレバー加振振幅に対してそれぞれ測定し、各カンチレバー加振振幅に対する前記変化特性の急激な立ち上がり位置の差からカンチレバーの発振振幅を求めるものである。

Claim (excerpt)：

非接触原子間力顕微鏡のカンチレバーを加振して固有周波数で発振させた状態で試料とカンチレバー間の距離を変化させたときの距離変化に対するカンチレバー発振周波数の変化特性を、異なるカンチレバー加振振幅に対してそれぞれ測定し、各カンチレバー加振振幅に対する前記変化特性の急激な立ち上がり位置の差からカンチレバーの発振振幅を求めることを特徴とするカンチレバー振幅測定方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-008376 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
走査型力顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-347690 Applicant：株式会社日立製作所
近接場光学顕微鏡のプローブチップ位置の測定方法とその装置および制御装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-199708 Applicant：工業技術院長

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