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J-GLOBAL ID：200903006165234239

投影露光装置

Inventor： 松本 宏一 ,  大野 康一 ,  武田 要 ,  亀山 雅臣
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992243663
Publication number (International publication number)：1994097039
Application date： Sep. 11, 1992
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ネガタイプの感光材を使用する場合に適した球面収差量を有する投影光学系を備えた投影露光装置を提供する。【構成】 レチクル3を照明するコンデンサーレンズ2と、レチクル3のパターンをウエハ6上に投影する投影光学系4とを有する投影露光装置において、レチクル3のパターンをウエハ6上へ投影する際の投影光学系4の縦の球面収差に関して、ウエハ6に塗布された感光材がネガレジストであるときに、開口の10割に相当する球面収差量を補正不足にする。

Claim (excerpt)：

マスクパターンを照明する照明光学系と、所定の開口数を持ち前記マスクパターンを感光材が塗布された基板上に投影する投影光学系とを有する投影露光装置において、前記マスクパターンを前記基板上へ投影する際の前記投影光学系の縦の球面収差に関して、前記基板に塗布された感光材がネガタイプであるときに、開口の10割に相当する球面収差量を補正不足にした事を特徴とする投影露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 7/207