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J-GLOBAL ID：200903006191696135

ウエ-ハ移載ロボットのフィンガ衝突検知装置

Inventor： 河野 等 ,  奥野 敦 ,  永島 洋
Applicant, Patent owner： 神鋼電機株式会社
Agent (1)： 後藤 武夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993164999
Publication number (International publication number)：1994349930
Application date： Jun. 11, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 半導体製造装置においてウエ-ハを移載する装置としてア-ムを有するロボットのフィンガが他の部材に衝突した場合、検知手段により衝突を早急に検知して、ロボットの作動を停止させるための検知装置において、検知手段からの導線をア-ム内の屈曲した通路を通して制御装置に導くことなく配線できる構造にされた検知装置を提供することを目的とする。【構成】 衝突検知信号を無線で送信する発信器13と受信器11を設けるか、またはロボット本体に振動センサあるいは加速度センサを取り付けるか、またはロボットア-ム内に空気通路を設け真空スイッチをロボット本体に取り付ける構造にする。

Claim (excerpt)：

化学気相成長法により半導体デバイスを製造する装置のウエ-ハキャリアとウエ-ハボ-トとの間でウエ-ハを授受して移送するウエ-ハ移載ロボットの本体のフィンガが他の部材と衝突したのを検知する衝突検知手段と、この衝突検知手段からの信号に応じウエ-ハ移載ロボットのそれ以上の運動を停止させる制御装置とを有するウエ-ハ移載ロボットの衝突検知装置において、前記衝突検知装置が、前記フィンガのウエ-ハ移載ロボットの本体との接続端部側に装着されてフィンガの衝突により変形するばねなどの弾性部材と、この弾性部材の変形に応じて作動するリミットスイッチにより作動して検知信号を発する検知回路と無線発信回路とを含む検知・発信回路と、前記無線発信回路からの検知信号を無線発信するアンテナと、前記の発信された検知信号を受信する受信器とから成るウエ-ハ移載ロボットのフィンガ衝突検知装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  B25J 17/02