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J-GLOBAL ID：200903006226354372

シミュレーションの評価方法および測定方法

Inventor： 石川 勝彦
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993193270
Publication number (International publication number)：1995050332
Application date： Aug. 04, 1993
Publication date： Feb. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 シミュレーションの精度を実測値によって的確に評価することが可能なシミュレーションの評価技術を提供する。【構成】 まず、検査装置側では光ビーム径や強度を調整して所定のプローブ領域を設定してプローブ領域の実測値を取得する。一方、シミュレータ側では、シミュレーションを実行し、各格子点でのシミュレーション値を取得し、さらに、プローブ領域に対応した各格子点のシミュレーション値に、検査装置での測定原理に基づいて、プローブ領域内の当該格子点の位置に基づく重み付けを行い、仮想的な検査結果を算出する。この算出結果と、測定装置での実測値を比較することにより、シミュレーションの精度の良否を判定する。

Claim (excerpt)：

所望の測定方法によって対象物の所定の設定範囲について所望の第1の物理量を実測する第1の段階と、前記対象物を論理的に所定の格子点に分割し、シミュレーションによって前記各格子点毎の第2の物理量を計算で求める第2の段階と、前記設定範囲に対応した前記格子点を選出し、前記測定方法の原理に基づく個々の当該格子点における前記第2の物理量の寄与率に応じて当該第2の物理量の各々に重み付けをすることにより、前記設定範囲内に属する前記格子点の前記第2の物理量から前記原理に基づいて予想される第3の物理量を算出する第3の段階と、実測された前記第1の物理量と、シミュレーションによって算出された前記第3の物理量とを比較することにより、前記シミュレーションの精度を評価する第4の段階とからなることを特徴とするシミュレーションの評価方法。

IPC (3)：

H01L 21/66 ,  G01L 1/00 ,  G01L 1/24