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J-GLOBAL ID：200903006227134864

有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用原料

Inventor： 齋 篤 ,  佐藤 正光 ,  小木 勝実
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995321625
Publication number (International publication number)：1997157851
Application date： Dec. 11, 1995
Publication date： Jun. 17, 1997
Summary：

【要約】【課題】 熱的分解特性に優れ、成膜速度の高い有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用原料を提供する。【解決手段】 (1,5-ジメチル-1,5-シクロオクタジエニル)ジエチル白金と電子供与体化合物とを混合して得られる有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用原料。【効果】 電子供与体化合物:AがPtに配位したPt(IV)化合物が生成する。この電子供与体化合物により、メチル基、エチル基、Pt上の電子密度が補填され、適度な熱安定性及び高揮発性と、熱的易分解性を有するものとなる。【化12】

Claim (excerpt)：

下記構造式?@で表される(1,5-ジメチル-1,5-シクロオクタジエニル)ジエチル白金と電子供与体化合物とを混合して得られる有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用原料。【化1】

IPC (2)：

C23C 16/18 ,  C07F 15/00

FI (2)：

C23C 16/18 ,  C07F 15/00 F