Pat
J-GLOBAL ID：200903006232074608
ガラス板の異物検出装置
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991353230
Publication number (International publication number)：1993052762
Application date： Dec. 17, 1991
Publication date： Mar. 02, 1993
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 一方の面に投光系と受光系とを配置してガラス板の表面あるいは裏面の異物のいずれか一方を他方から分離して検出することができるガラス板の異物検出装置を提供する。【構成】 表面側にあるある粒径の異物にS偏光レーザビームを照射したときに受光系で検出される散乱光のレベルを第1の検出レベルとし、ガラス板1を裏返して異物にガラス板1を介してS偏光レーザビームを照射したときに受光系で検出される散乱光のレベルを第2の検出レベルとし、異物にP偏光レーザビームを照射したときに受光系で検出される散乱光のレベルを第3の検出レベルとし、ガラス板1を裏返して異物にガラス板1を介してP偏光レーザビームを照射したときに受光系で検出される散乱光のレベルを第4の検出レベルとしたときに、P偏光レーザビームの出力レベルを第1の検出レベルと2の検出レベルとの間に第3の検出レベルと第4の検出レベルとが入るように設定する。
Claim (excerpt)：
ガラス板の異物検出面となる被検査面側の上部に配置され、S偏光レーザビームを前記被検査面からみて第1の仰角で前記被検査面に照射する第1の投光系と、第1の仰角以上の第2の仰角でP偏光レーザビームを前記被検査面に照射する第2の投光系と、レーザビームの照射点に立てられる法線を挟んで照射方向と反対側に配置され、第1の仰角より小さい第3の仰角で第1及び第2の投光系のレーザビームを受けた前記被検査面からの散乱光をそれぞれ受光する受光系とを備え、前記被検査面側にあるある粒径の異物に前記S偏光レーザビームを照射したときに前記受光系で検出される散乱光のレベルを第1の検出レベルとし、前記ガラス板を裏返して前記異物に前記ガラス板を介して前記S偏光レーザビームを照射したときに前記受光系で検出される散乱光のレベルを第2の検出レベルとし、前記異物に前記P偏光レーザビームを照射したときに前記受光系で検出される散乱光のレベルを第3の検出レベルとし、前記ガラス板を裏返して前記異物に前記ガラス板を介して前記P偏光レーザビームを照射したときに前記受光系で検出される散乱光のレベルを第4の検出レベルとしたときに、前記P偏光レーザビームの出力レベルが第1の検出レベルと2の検出レベルとの間に第3の検出レベルと第4の検出レベルとが入るように設定されていて、前記S偏光レーザビームの照射に対応して前記受光系で得られる信号レベルが前記P偏光レーザビームの照射に対応して前記受光系で得られる信号レベルより大きいときに前記被検査面の異物と判定するガラス板の異物検出装置。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 21/89
