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J-GLOBAL ID：200903006237601908

はんだボールバンプの形成方法

Inventor：
柳田 敏治

About 柳田 敏治


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996064361
Publication number (International publication number)：1997260388
Application date： Mar. 21, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：
【要約】【課題】 BLM膜上のレジスト膜の残渣を除去し、かつ酸化膜も除去する。【解決手段】 フォトレジストのリフトオフを用いてはんだ層14をパターンニングするはんだ成膜工程を含むはんだボールバンプ15の形成方法において、電極パッド2上にBLM膜4が形成されたウェハ13を準備する工程と、酸素プラズマアッシング処理工程と、不活性ガスによるスパッタエッチング処理工程を含むはんだボールバンプの形成方法。【効果】 BLM4上に残存するスカム6aを除去でき、しかも酸化膜を残さない。
Claim (excerpt)：
フォトレジストのリフトオフを用いてはんだ層をパターニングする際のはんだ成膜工程を含むはんだボールバンプの形成方法において、電極パッド上にBLMが形成されたウェハを準備する工程と、はんだ層形成の成膜前処理として酸素プラズマアッシング処理を行う工程と、この工程に連続して不活性ガスによるスパッタエッチング処理を行う工程を含むことを特徴とするはんだボールバンプの形成方法。
IPC (5)：
H01L 21/321 ,  C23F 1/00 104 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46
FI (8)：
H01L 21/92 604 H ,  C23F 1/00 104 ,  C23F 4/00 A ,  H05H 1/46 L ,  H05H 1/46 M ,  H01L 21/302 C ,  H01L 21/302 F ,  H01L 21/92 604 C
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (2)

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