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J-GLOBAL ID：200903006251318755
感光剤およびこれを含む感光性組成物並びにパターン形成方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
栗原 浩之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996130104
Publication number (International publication number)：1997319080
Application date： May. 24, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：
【要約】【課題】 塗布時に有機溶媒を用い必要がなく、保存安定性が良好で、解像性も十分に良好な水溶性感光剤を提供する。【解決手段】 下記一般式で表される感光剤、およびこの感光剤を含有させて感光性組成物とし、さらにこれを用いてパターンを形成する。【化1】(式中、R1が二価の有機基を表し、R2およびR3がそれぞれアルキル基、アリール基またはアラルキル基を表すか、またはR1、R2およびR3が一緒になって含窒素芳香族複素環を表し、R4はアルキル基またはアラルキル基を表し、X-は陰イオンを表す)
Claim (excerpt)：
下記一般式で表される感光剤。【化1】(式中、R1が二価の有機基を表し、R2およびR3がそれぞれアルキル基、アリール基またはアラルキル基を表すか、またはR1、R2およびR3が一緒になって含窒素芳香族複素環を表し、R4はアルキル基またはアラルキル基を表し、X-は陰イオンを表す)
IPC (2)：
FI (2)：
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