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J-GLOBAL ID：200903006270879873

ガラス導波路の製造方法

Inventor： 徳永 利秀 ,  岡野 広明
Applicant, Patent owner： 日立電線株式会社
Agent (1)： 松本 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992017229
Publication number (International publication number)：1993215929
Application date： Feb. 03, 1992
Publication date： Aug. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】伝送損失が小さく、しかも導波路の形状が高精度なガラス導波路を製造する。【構成】基板1上にガラス微粒子堆積と透明ガラス化とによりフッ素をドープした石英ガラスのバッファ層2を形成する。バッファ層2上に電子ビーム蒸着またはイオンスパッタリングにより純粋の石英ガラス膜3を形成する。石英ガラス膜3から余分な部分を除去してコア層4を形成する。バッファ層2、コア層4を覆ってフッ素をドープした石英ガラスのクラッド層5をガラス微粒子堆積と透明ガラス化により形成する。

Claim (excerpt)：

石英ガラスまたはシリコンからなる基板上にガラス微粒子の堆積工程と透明ガラス化工程とによりフッ素をドープした石英ガラスのバッファ層を形成し、バッファ層上に電子ビームによる真空蒸着またはイオンによるスパッタリングにより純粋の石英ガラス膜を形成し、このガラス膜から余分な部分を除去してコア層を形成した後、上記バッファ層およびコア層を覆ってフッ素をドープした石英ガラスのクラッド層をガラス微粒子の堆積工程と透明ガラス化工程とにより形成するようにしたことを特徴とするガラス導波路の製造方法。

IPC (3)：

G02B 6/12 ,  C03B 19/01 ,  C03B 19/14