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J-GLOBAL ID：200903006274419796

撥水性微小プローブ

Inventor： 杉村 博之 ,  中桐 伸行 ,  山本 琢磨
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995061036
Publication number (International publication number)：1996262036
Application date： Mar. 20, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 作業環境の湿度の影響を少なくする。【構成】 導電性の探針2を有する走査型プローブ顕微鏡用の微小プローブにおいて、導電性の探針2の最表面に撥水性の有機分子膜4を設ける。

Claim (excerpt)：

導電性の探針を有する走査型プローブ顕微鏡用の微小プローブにおいて、前記導電性の探針の最表面に撥水性の有機分子膜を設けたことを特徴とする撥水性微小プローブ。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  H01J 37/28

FI (3)：

G01N 37/00 A ,  G01B 7/34 Z ,  H01J 37/28 Z