Pat
J-GLOBAL ID：200903006292310173
基板アダプタ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995302402
Publication number (International publication number)：1997148219
Application date： Nov. 21, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：
【要約】【課題】 露光装置等において、ウエハに直接接触することなくウエハをウエハホルダ上に位置決めすると共に、ウエハ搬送装置やウエハホルダの改造又は交換なしにサイズの異なるウエハを処理する。【解決手段】 ウエハ1Aの外縁部と密着する内縁部を有するリング状のウエハアダプタ17をウエハ1Aと共にウエハホルダ2A上に配置する。ウエハアダプタ17の外径は、ウエハアダプタ17の外縁部がウエハホルダ2A上の位置決め駒と接触する大きさで形成されており、ウエハホルダ2A上で位置決め用のハンマーでウエハアダプタ17の外縁部の一部を叩くことにより、ウエハアダプタ17の外縁部を位置決め駒に押しつけて、ウエハ1Aの位置決めを行う。また、サイズの異なるウエハを処理する場合には、ウエハアダプタの内径を変えることにより対応する。
Claim (excerpt)：
マスクパターンが転写される基板を吸着保持するための基板ホルダに対して前記基板を位置決めするためのリング状の枠よりなり、前記基板ホルダ上で前記リング状の枠の内側に前記基板が収納されることを特徴とする基板アダプタ。
IPC (2)：
FI (3)：
H01L 21/30 503 C
, H01L 21/68 N
, H01L 21/68 G
