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J-GLOBAL ID:200903006309373760

疵検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 杉信 興
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995002055
Publication number (International publication number):1996189905
Application date: Jan. 10, 1995
Publication date: Jul. 23, 1996
Summary:
【要約】【目的】 表面疵検出の信頼性の向上。【構成】 センサからの出力信号より、無疵部地合信号の信号レベルの標準偏差を演算し、該標準偏差に対してある一定の倍率を乗した値を該無疵部地合信号の平均値に加算もしくは減算してしきい値を定め、このしきい値でセンサ出力信号の2値化処理を行い欠陥を判定する。
Claim (excerpt):
センサ部からの信号に対し、疵部の信号を無疵の地合部分の信号から弁別する回路をもつ疵検査装置において、センサからの出力信号より、無疵部地合信号の信号レベルの標準偏差を演算し、該標準偏差に対してある一定の倍率を乗した値を該無疵部地合信号の平均値に加算もしくは減算することによって決定されるしきいレベルをもって2値化処理を行い欠陥を判定することを特徴とする疵検査装置。
IPC (4):
G01N 21/89 ,  G06T 7/00 ,  G06T 5/00 ,  G01N 21/88
FI (2):
G06F 15/62 400 ,  G06F 15/68 320 Z

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