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J-GLOBAL ID：200903006318312277

放射線感応性樹脂組成物

Inventor： 伊東 敏雄 ,  坂田 美和
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 大垣 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992158387
Publication number (International publication number)：1994003823
Application date： Jun. 18, 1992
Publication date： Jan. 14, 1994
Summary：

【要約】【目的】 deepUV光や電子線などをはじめとする放射線に対し、従来よりも高い感度を有する新規な放射線感応樹脂組成物を提供すること。【構成】 樹脂としてのポリ(ヒドロキシスチレン)の部分アリルエーテル(エーテル化率50%)0. 5g、酸発生剤としてのトリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート35mgを酢酸メトキシエチル3mlに溶解し、メンブレンフィルタで濾過してレジスト液を調製する。

Claim (excerpt)：

エーテル化率が5〜60%の範囲にあるポリ(ヒドロキシスチレン)の部分2-アルケニルエーテルと、放射線の作用により酸を発生する酸発生剤とからなることを特徴をする放射線感応性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027