Pat

J-GLOBAL ID：200903006324719826

ポジ型感放射線性樹脂組成物

Inventor： 平岡 良一 ,  梶田 徹 ,  大田 利幸 ,  辻 昭
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993134980
Publication number (International publication number)：1994348006
Application date： Jun. 04, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 各種の放射線に有効に感応し、特にフォーカス許容性に優れるとともに、感度、解像度、耐熱性、現像性およびパターン形状などにも優れたレジストとして有用なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 キノンジアジドスルホニル基を持つ化合物を含むポジ型感放射線性樹脂組成物であって、アルカリ可溶性ノボラック樹脂および下記式【化1】で例示される化合物またはそのキノンジアジドスルホン酸エステルを含む。

Claim (excerpt)：

キノンジアジドスルホニル基を持つ化合物を含むポジ型感放射線性樹脂組成物であって、アルカリ可溶性ノボラック樹脂(A)、ならびに下記式(1)および下記式(2)【化1】[式(1)および式(2)のQは下記式(3)【化2】で表わされる1価の基であり;式(1)、式(2)および式(3)において、Dは水素原子またはキノンジアジドスルホニル基を示し、複数存在するDは同一であっても異なっていてもよく;R1は炭素数1〜10のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、炭素数7〜15のアラルキルオキシ基、炭素数1〜7のアシル基、炭素数6〜14のアリール基、炭素数7〜18のアラルキル基、炭素数6〜10のアリールオキシ基または炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基を示し、R1が式(1)または式(2)のなかに複数存在する場合は相互に同一であっても異なっていてもよく;R2は炭素数1〜6のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜14のアリール基または炭素数7〜18のアラルキル基を示し、R2が式(1)または式(2)のなかに複数存在する場合は相互に同一であっても異なっていてもよく;R3〜R6は相互に同一であっても異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜14のアリール基または炭素数7〜18のアラルキル基を示し;R7〜R9は相互に同一であっても異なっていてもよく、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、または炭素数3〜10のシクロアルキル基を示し;R10およびR11は相互に同一であっても異なっていてもよく、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基または炭素数3〜10のシクロアルキル基を示し;R12は水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜14のアリール基または炭素数7〜18のアラルキル基を示し;aは1〜3の整数、bは0〜3の整数であり、しかもa+b≦5を満し、cは1〜3の整数、dは0〜2の整数であり、しかもc+d≦3を満たす。]で表わされる化合物群から選択される少なくとも1種の化合物(B)を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (2)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027