圧力センサ

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：青山葆 (外3名) , 青山葆 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000397477
Publication number (International publication number)：2002195904
Application date： Dec. 27, 2000
Publication date： Jul. 10, 2002
Summary：

【要約】【課題】構造が簡単で、耐久性に優れた超薄型の圧力センサを提供することにある。【解決手段】対向する電極11,14間に、圧力によって誘電率を変化させる感圧膜13を積層一体化した。

Claim (excerpt)：

圧力によって誘電率を変化させる感圧膜を、対向する電極間に配置して積層一体化したことを特徴とする圧力センサ。

IPC (2)：

G01L 9/12 , G01L 1/14

FI (2)：

G01L 9/12 , G01L 1/14 J

F-Term (8)：

2F055AA12 , 2F055BB19 , 2F055CC60 , 2F055DD09 , 2F055EE25 , 2F055FF01 , 2F055FF43 , 2F055GG11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭58-103638
特開昭61-175538
エンジン用の筒内圧センサとこれを用いた気筒内空気流入量の計測装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-362477 Applicant：株式会社日立製作所, 株式会社日立カーエンジニアリング

Show all

Return to Previous Page