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J-GLOBAL ID：200903006349425150

薄膜コンデンサとそれを用いたチップコンデンサ及びLCフィルタ並びにその製造方法

Inventor： 綿引 誠次 ,  元脇 成久 ,  生田目 俊秀 ,  久保 征治 ,  三輪 崇夫
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高田 幸彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001312438
Publication number (International publication number)：2003124061
Application date： Oct. 10, 2001
Publication date： Apr. 25, 2003
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は、耐電圧特性及び高周波領域におけるQ特性に優れた薄膜コンデンサとそれを用いたチップコンデンサ及びLCフィルタ並びにその製造方法を提供することにある。【解決手段】本発明は、基板/下部電極/金属酸化物誘電体/上部電極で構成され、前記誘電体が非晶質成分の多い非晶質層と結晶質成分の多い結晶層との2層で構成され、同一の組成を有することを特徴とする薄膜コンデンサとそれを用いたチップコンデンサ及びLCフィルタ並びにその製造方法にある。

Claim (excerpt)：

基板に形成された下部電極上に金属酸化物誘電体及び該誘電体上に形成された上部電極を有する薄膜コンデンサにおいて、前記誘電体は、非晶質成分の多い非晶質層と、結晶質成分の多い結晶質層との多層膜から成り、前記非晶質層及び結晶質層が同じ組成によって構成されていることを特徴とする薄膜コンデンサ。

IPC (4)：

H01G 4/33 ,  H01G 4/252 ,  H01G 4/40 ,  H01G 13/00 391

FI (4)：

H01G 13/00 391 Z ,  H01G 4/06 102 ,  H01G 4/40 321 A ,  H01G 1/14 C

F-Term (3)：

5E082AA01 ,  5E082DD07 ,  5E082FG03