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J-GLOBAL ID：200903006361286204
干渉計においてデータエイジ補償を行うための方法と装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
野河 信太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997124264
Publication number (International publication number)：1998068605
Application date： May. 14, 1997
Publication date： Mar. 10, 1998
Summary：
【要約】【課題】 正確な時刻における多数の長さ又は位置の測定を行うこと。【解決手段】 既知の時間遅れが測定信号(34,38,38a,41および42)路および参照信号(44)路において生じるヘテロダイン干渉計のような干渉計(18)において、測定軸間の測定のデータエイジにおける差を補償する改良された方法と装置である。与えられたクロック(48)の周期の期間に対して、これらの信号路にわたる信号伝送のための時間値が測定され(52)、その測定された時間値(52)は、既知の時間遅れに対する与えられた期間に対して調整され(56)データエイジを補償する。既知の時間遅れは測定された時間値から減じられ、与えられた期間に対する調整された時間値(60)を提供する。調整された時間値(60)は位相測定に変換され、この位相測定は干渉計法の動的位置測定(64,68)に変換され、位置測定中の対象物の移動速度に無関係で、かつ測定する信号路間のデータエイジ差を少なくした位置測定(72,74)を提供する。
Claim (excerpt)：
干渉計の測定信号路および参照信号路にわたる信号の伝搬と伝送により生じる時間遅れを、前記信号伝搬による時間遅れが測定軸間の前記測定のデータエイジにおける差の原因となる既知の値であるときに補償する方法において、与えられたクロック周期の期間に対して、前記信号路にわたって前記信号を伝送するための時間値を測定し、前記データエイジを補償するために、前記の既知の時間遅れに対して前記の与えられた期間における測定した前記時間値を調整し、前記調整工程が、前記の与えられた期間における測定した前記時間値から前記の既知の時間遅れを差し引いて前記の与えられた期間における調整した前記時間値を提供する工程からなり、前記の調整した時間値を位相測定に変換し、前記位相測定を干渉計法による動的な位置測定に変換し、位置測定中の対象物の移動速度に無関係で、かつ、前記測定を行う前記信号路間のデータエイジ差を少なくした位置測定を提供する、工程からなることを特徴とする干渉計のデータエイジ補償方法。
IPC (2)：
FI (2)：
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