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J-GLOBAL ID：200903006391734074

誘導結合プラズマ発生装置

Inventor： 西垂水 剛 ,  山下 裕巳 ,  飛田 貴光
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995222999
Publication number (International publication number)：1997069397
Application date： Aug. 31, 1995
Publication date： Mar. 11, 1997
Summary：

【要約】【構成】出力コイル2は、一端を高周波発生部1に接続され、他端を接地され、その中央部にトーチ管3を内包する。トーチ管3の下部にイグナイタ5の高電圧側電極6と接地側電極7を対向させて配置する。【効果】イグナイタの高電圧側電極に対する接地側電極を設けることにより、イグナイタによる放電が確実に起こるため、点火ミスがなく、安定したプラズマを生成できる。

Claim (excerpt)：

高周波発生部,出力コイル,トーチ管とイグナイタを備えた誘導結合プラズマ発生装置において、前記イグナイタの高電圧側電極と対向して接地側電極を設けることを特徴とする誘導結合プラズマ発生装置。

IPC (5)：

H05H 1/42 ,  G01N 21/73 ,  G01N 27/62 ,  G01N 27/64 ,  H05H 1/46

FI (5)：

H05H 1/42 ,  G01N 21/73 ,  G01N 27/62 B ,  G01N 27/64 Z ,  H05H 1/46 L