Pat

J-GLOBAL ID：200903006394714627

欠陥検査装置

Inventor： 萩原 恒幸
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991336701
Publication number (International publication number)：1993165196
Application date： Dec. 19, 1991
Publication date： Jun. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 比較的大きい異物と比較的小さい異物とが混在している場合でも、大きい異物をとりこぼしなく検知する。【構成】 比較器(7、8、9、10)は複数の受光器(RR、RL、FR、FL)からの信号(e1 、e2 、e3 、e4 )のレベルが低いスライスレベルVL以上のとき論理値「1」をアンド回路11に出力する。比較器(13、14、15、16)は信号(e1 、e2 、e3 、e4 )のレベルが高いスライスレベルVH以上のとき論理値「1」をオア回路17に出力する。オア回路18はアンド回路11の出力Bとオア回路17からの信号Aとから異物検知信号Cを出力する。

Claim (excerpt)：

被検査面に所定の光束を照射する照射手段と、前記被検査面上から発生する散乱光を受光し、該受光光の強度に応じた光電変換信号を個別に出力する複数の受光手段と、前記受光手段からの信号に基づいて被検査面上の欠陥を検査する欠陥検査装置において、前記複数の光電変換信号の各々の大きさを予め定められた第1の基準レベルと比較し、該複数の光電変換信号の全てが該第1基準レベル以上のとき第1の検知信号を出力する第1比較手段と;前記複数の光電変換信号の各々の大きさを前記第1基準レベルよりも高く定められた第2基準レベルと比較し、該複数の光電信号の少なくとも1つが該第2基準レベル以上のとき第2の検知信号を出力する第2比較手段と;前記第1検知信号と第2検知信号との少なくとも一方の信号に基づいて、前記欠陥を検出したことを表す信号を出力する検出手段とを有することを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (5)：

G03F 1/08 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66