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J-GLOBAL ID：200903006405976084

カンチレバー型プローブ、それによって構成したマルチ化プローブおよび走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 山崎 剛生 ,  島田 康弘
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998148399
Publication number (International publication number)：1999326350
Application date： May. 13, 1998
Publication date： Nov. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】本発明は、ΔR/R0の値が大きく高感度で測定することが可能なカンチレバー型プローブ、それによって構成したマルチ化プローブおよび走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、薄膜カンチレバーと、該薄膜カンチレバーの支持部材と、該薄膜カンチレバーから該支持部材にわたってその表面近傍に形成されているピエゾ抵抗体と、該ピエゾ抵抗体に電気的に接続された電極を備えたカンチレバー型プローブにおいて、応力の作用する部分に形成されているピエゾ抵抗体の膜厚が、それよりも応力が作用しない部分に形成されているピエゾ抵抗体の膜厚より、薄く形成されていることを特徴とするものであり、また、上記カンチレバー型プローブによってマルチ化プローブおよび走査型プローブ顕微鏡を構成したことを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

薄膜カンチレバーと、該薄膜カンチレバーの支持部材と、該薄膜カンチレバーから該支持部材にわたってその表面近傍に形成されているピエゾ抵抗体と、該ピエゾ抵抗体に電気的に接続された電極を備えたカンチレバー型プローブにおいて、応力の作用する部分に形成されているピエゾ抵抗体の膜厚が、それよりも応力が作用しない部分に形成されているピエゾ抵抗体の膜厚より、薄く形成されていることを特徴とするカンチレバー型プローブ。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01L 1/18 ,  G02B 21/00

FI (3)：

G01N 37/00 G ,  G01L 1/18 ,  G02B 21/00