Pat

J-GLOBAL ID：200903006427449177

蛍光X線分析装置

Inventor： 田口 孝雄
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992237506
Publication number (International publication number)：1994088791
Application date： Sep. 07, 1992
Publication date： Mar. 29, 1994
Summary：

【要約】【目的】 全反射蛍光X線分析装置に関し,広い水平放射角を有するSOR光を水平に偏光する垂直帯状のX線ビームに変形することを目的とする。【構成】 水平面内に発散して放射されるSOR光1を励起用X線ビーム源とし,X線ビーム4を試料3の垂直に置かれた表面に全反射する角度で入射する蛍光X線分析装置において,水平面内に発散する該SOR光1を反射して該試料3表面又はその近傍において垂直に発散する該X線ビーム4に変換するための,光軸を該SOR光1の発光源からずらして水平に配設されたトロイダル鏡2を有するように構成する。

Claim (excerpt)：

水平面内に発散して放射されるSOR光(1)(シンクロトロン軌道放射光)を励起用X線ビーム源とし,該X線ビーム(4)を試料(3)の垂直に置かれた表面に全反射する角度で入射する蛍光X線分析装置において,水平面内に発散する該SOR光(1)を反射して該試料(3)表面又はその近傍において垂直に発散する該X線ビーム(4)に変換するための,光軸を該SOR光(1)の発光源からずらして水平に配設されたトロイダル鏡(2)を有することを特徴とする蛍光X線分析装置。