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J-GLOBAL ID：200903006448690265

照明光学装置、並びに該装置を用いた露光方法及び装置

Inventor： 後藤 明弘
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000274133
Publication number (International publication number)：2001148345
Application date： Sep. 08, 2000
Publication date： May. 29, 2001
Summary：

【要約】【課題】 光ファイバー・バンドルから射出されるレーザ光を露光光として使用するような場合であっても、均一な照度分布でレチクルを照明する。【解決手段】 露光光源161内の光ファイバー・バンドルから射出されたレーザ光(ビームバンドル)LB5を露光光ILとして、この露光光ILは、そのビームバンドル内に含まれる個々のビーム断面の中に包含される大きさの複数の基本素子32aから構成される第1のオプティカル・インテグレータとしてのDOE(Diffractive Optical Element) 32Aを通過する。その後、露光光ILは、振動ミラー34により空間的なコヒーレンスが低減され、リレーレンズ35、第2のオプティカル・インテグレータ(ホモジナイザー)としてのフライアイレンズ36、リレーレンズ37、ミラー38、及びコンデンサレンズ系39を介してレチクル163を照明する。

Claim (excerpt)：

単一波長の紫外光を発生するレーザ装置と、該レーザ装置からのレーザ光により被照射面を照明する照明光学系と、を有する照明光学装置において、前記レーザ装置は、赤外域から可視域までの波長範囲内で単一波長のレーザ光を発生するレーザ光発生部と、該レーザ光発生部から発生されたレーザ光を伝送する光ファイバーを束ねた光ファイバー・バンドルと、前記光ファイバー・バンドルからのレーザ光を非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換する波長変換部とを含み、前記照明光学系は、前記レーザ光を発散する複数の基本素子から形成される拡散素子からなる第1のオプティカル・インテグレータと、該第1のオプティカル・インテグレータを通過したレーザ光より複数の光源像を形成する第2のオプティカル・インテグレータとを含むことを特徴とする照明光学装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  F21V 8/00 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 502

FI (5)：

F21V 8/00 B ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 527 ,  H01L 21/30 515 B