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J-GLOBAL ID:200903006451362040

全反射測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 岩橋 祐司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992142134
Publication number (International publication number):1994058869
Application date: May. 06, 1992
Publication date: Mar. 04, 1994
Summary:
【要約】【構成】 カセグレン主鏡122及びカセグレン副鏡124を有し、前記副鏡124、主鏡122の順に反射された光を、低面が球面で先端が平頭な円錐状に形成された全反射プリズム112に入射し、被測定試料面に当接している平頭面上に集光させ、その平頭面によって全反射した光を主鏡122、副鏡124の順に反射させて得る全反射測定装置。【効果】 微量な被測定試料の全反射測定を簡易に行うことが可能となる。
Claim (excerpt):
カセグレン主鏡及びカセグレン副鏡を有し、前記副鏡、主鏡の順に反射された光を被測定試料上に集光し、その全反射光を主鏡、副鏡の順に反射させて得るカセグレン鏡と、カセグレン副鏡の下部に配置され、入光及び出光面が球面状に、且つ先端が平頭円錐状に形成され、該平頭面が被測定試料に当接されるとともに、前記カセグレン鏡の集光位置となるように配置された全反射プリズムと、を備えたことを特徴とする全反射測定装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
  • 特開平1-196540
  • 特開平1-138443
  • 特開昭62-220834
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