Pat

J-GLOBAL ID：200903006463151931

走査電子顕微鏡

Inventor： 川俣 茂 ,  小笹 進
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993175127
Publication number (International publication number)：1995029536
Application date： Jul. 15, 1993
Publication date： Jan. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】極低倍画像中の目的とする部位の拡大画像観察のための操作を容易にすること。【構成】ステージ移動とフレームメモリ上でのつなぎ処理による極低倍画像表示機能を有し、表示画像中の目的とする部位をボックスカーソル等で指定することにより、試料移動により目的部位を電子線走査の中心に配置し、設定された拡大倍率で以後の走査を行うように制御する。【効果】試料上の特定の場所の拡大像観察が簡単な操作で、迅速に行える。つまり視野捜しの操作性の良い走査電子顕微鏡を提供できるようになる。

Claim (excerpt)：

試料上に細く絞った電子線を、二次元的に走査しながら照射して得られる画像データを記憶するフレームメモリと、フレームメモリに記憶された画像データを静止画観察像として表示する手段と、モータ駆動による試料移動装置を有し、試料上の電子線の走査位置を、試料移動によって順次移動し、移動毎に画像データのフレームメモリへの記憶を繰り返し、得られた複数枚の画像データをフレームメモリ上で、試料移動方向に従って二次元的につなぎ合わせ、1枚の画像として表示する手段を有する走査電子顕微鏡において、得られた表示画像の中の、拡大して観察したい部位を指し示す手段と、試料移動により該部位を電子線走査の中心に配置し、適宜設定された拡大倍率で以後の走査を行う手段を具備したことを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/28