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J-GLOBAL ID：200903006494983331
異物検査方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997028833
Publication number (International publication number)：1998227743
Application date： Feb. 13, 1997
Publication date： Aug. 25, 1998
Summary：
【要約】【課題】散乱率の異なる種類の異物の大きさを正しく判別できる検査方法を提供する。【解決手段】基板表面をレーザー光で走査し、そのレーザー光が異物に照射された時に得られる散乱光の強度L1、L2、L3およびその強度分布W1、W2、W3の幅を用いて異物を分類する。
Claim (excerpt)：
レーザー光を使用して基板表面の異物を検査する方法において、前記基板表面をレーザー光で走査し、そのレーザー光が異物に照射された時に得られる散乱光の強度およびその強度分布の幅を用いて異物を分類することを特徴とする異物検査方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/88 E
, H01L 21/66 J
