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J-GLOBAL ID：200903006529776237

薄膜キャパシタ

Inventor： 水澤 由美
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993323485
Publication number (International publication number)：1995183165
Application date： Dec. 22, 1993
Publication date： Jul. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 大容量を保持しつつ、実用的に満足し得る程度にリーク電流密度の低減化を図られた薄膜キャパシタを提供しようとするものである。【構成】 上部電極と下部電極とに挟まれた無機質多結晶誘電体層の膜厚方向に平均結晶粒径の小さい層が存在することを特徴としている。

Claim (excerpt)：

電極間に挟まれた誘電体層中に、前記電極間の膜厚方向に平均結晶粒径の小さい層が存在する無機質多結晶誘電体層を有することを特徴とする薄膜キャパシタ。