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J-GLOBAL ID：200903006534813434

基板処理装置

Inventor： 間宮 陽平 ,  山本 悟史 ,  上林 誠
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 川崎 実夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999003427
Publication number (International publication number)：2000208584
Application date： Jan. 08, 1999
Publication date： Jul. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】バッファカセットの移動や、バッファ部に対するバッファカセットのセットおよびリセットを容易に行うことができる基板処理装置を提供する。【解決手段】第2バッファ部9Bは、ユニットフレーム21と、このユニットフレーム21に取り付けられた壁板22とによって区画されている。第2バッファ部9B内には、ユニットフレーム21に取り付けられた上扉23および下扉24を開放して、量産用バッファカセットMBCが載置された量産用カセット台車MCVをセットしたり、サンプリング用バッファカセットが載置されたサンプリング用カセット台車をセットしたりできる。

Claim (excerpt)：

基板を処理するための第1の処理ユニットおよび第2の処理ユニットと、上記第1の処理ユニットと上記第2の処理ユニットとの間に設けられて、上記第1の処理ユニットと上記第2の処理ユニットとの間で受け渡しされる基板を一時的に蓄積するためのバッファ部と、このバッファ部に対して着脱自在であり、上記バッファ部から離脱した時に走行可能なカセット台車と、このカセット台車に取り付けられて、基板を内部に収容することのできるバッファカセットとを含むことを特徴とする基板処理装置。

F-Term (11)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031GA44 ,  5F031GA58 ,  5F031MA24 ,  5F031MA27 ,  5F031MA30