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J-GLOBAL ID：200903006548069690

半透明ダイヤモンド薄膜及びその製法

Inventor： トーマス・リチャード・アンソニイ ,  ジェームス・フルトン・フレイシャー
Applicant, Patent owner： ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
Agent (1)： 生沼 徳二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995016571
Publication number (International publication number)：1995309697
Application date： Feb. 03, 1995
Publication date： Nov. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 半透明の自立型多結晶ダイヤモンド薄膜の製法を提供する。【構成】 メタン25〜75mol%及び四フッ化炭素等の多フッ化炭素25〜75mol%の気体配合物(0.1〜2.0vol%)と水素との混合物、又は、多フッ化炭素(7.5〜12vol%)と水素との混合物を原料とする。CVD法を用い、モリブデン基材(18)から 0.3〜1cmの距離のフィラメント(20)を加熱し、基材付近を高温反応領域(700〜 900°C、3〜24torr)として原料気体を反応させる。得られるダイヤモンド薄膜は厚みが50〜5000μmで、垂直な柱状結晶から成る。各結晶は底面に垂直に〈110〉配向を有し、化学結合フッ素原子を10,000ppm まで含み、粒界の末端や結晶転移部の炭素原子は全てフッ素或いは水素で飽和されている。本ダイヤモンド薄膜は、ヒートシンク、透明被覆等に使用できる。

Claim (excerpt)：

連続した自立型多結晶ダイヤモンド薄膜であって、(A) 底面に垂直に〈110〉配向を有し、化学結合したフッ素原子を10,000ppm までの量で含むか、ダイヤモンドの結晶粒界の末端炭素原子、炭素転移部、及び、炭素原子価の空隙部分を、実質的に飽和する上で充分なフッ素原子と水素原子との混合物を含む、実質的に垂直な柱状ダイヤモンド結晶と、(B) (A) の柱状ダイヤモンド結晶の各々を分かつダイヤモンド結晶粒界であって、ダイヤモンド結晶の底面に対し70°〜90°で配向した粒界と、を備えて成る多結晶ダイヤモンド薄膜。

IPC (3)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  C30B 25/02