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J-GLOBAL ID：200903006563884154

フォトレジスト現像液及び膜剥し液を回収するための装置及び方法

Inventor：
ジャブロンスキー、ジュリアス・ジェイムズ

About ジャブロンスキー、ジュリアス・ジェイムズ


Applicant, Patent owner：
フィーナンク・コーポレイション

About フィーナンク・コーポレイション


Agent (1)： 木下 洋平 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000549350
Publication number (International publication number)：2002515318
Application date： May. 18, 1999
Publication date： May. 28, 2002
Summary：
【要約】硝酸含有溶液のような金属膜剥し液のリサイクリングにおいて、化学薬品は、膜剥し工程(100)から別々の循環経路に排出され、そこで、それらは、一連の接線フィルター(60’、62’、64’、66’)及び収集タンク(38’)を通って、ポンプで汲み出される。前記フィルターからの濾過液は、膜剥し工程(100)に戻され、高濃度の固形物を含んだ溶液は、金属の回収をさせるため、収集タンクから取除かれる。
Claim (excerpt)：
金属層が塗布された品物を処理するための装置であって、該装置が金属膜剥しの液体が処理工程を通って循環させられる第1循環フローパス(34’、26’、106)を有するものにおいて、 前記第1循環フローパスから液体の一部を受けるように接続された第2循環フローパス(36’、54’)を有し、該第2循環フローパスの少なくとも一部が多孔性フィルター媒体(54’)によって画定されており、かくして、液体が前記第2循環フローパスを通って流れるとき、濾過液が前記多孔性フィルター媒体を通って前記第2循環フローパスから流れ出るようになっており、さらに、 前記多孔性フィルター媒体を通って前記第2循環フローパスから流れ出る濾過液物を前記第1循環フローパスに移動させるための手段(84’)を有してなる、 液体回収システム。
IPC (5)：
B01D 61/18 ,  B01D 29/25 ,  B01D 29/66 ,  B01D 65/02 ,  H01L 21/027
FI (6)：
B01D 61/18 ,  B01D 65/02 ,  B01D 29/30 520 Z ,  B01D 29/38 510 A ,  B01D 29/38 520 A ,  H01L 21/30 569 Z
F-Term (19)：
4D006GA06 ,  4D006GA07 ,  4D006JA56Z ,  4D006JA66Z ,  4D006JA67Z ,  4D006KA72 ,  4D006KB04 ,  4D006KC03 ,  4D006KD11 ,  4D006KE15Q ,  4D006KE16Q ,  4D006MA02 ,  4D006MC03X ,  4D006PB08 ,  4D006PC01 ,  5F046LA03 ,  5F046LA07 ,  5F046LA09 ,  5F046MA10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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