拡大観察装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994288979
Publication number (International publication number)：1996130236
Application date： Oct. 28, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】光学系の設計を容易にし、またその製造、特に拡大レンズ群部の製造を容易にし且つコスト・ダウンをも図って、限られたスペース内に設置することを容易とした拡大観察装置を提供する。【構成】照明手段25により照明された被撮影物30の像は、対物鏡筒11に誘導され、第1ミラー部材18により垂直に光路が変更されて、第1誘導鏡筒12に導かれる。第1誘導鏡筒12内にて、拡大レンズ群22により、被撮影物30の像が所定の倍率に拡大され、第2誘導鏡筒13を経て、第2ミラー部材20により、垂直に光路が変更されて、第3誘導鏡筒14に導かれ、撮像手段24に到達する。

Claim (excerpt)：

処理装置の所定物が所定の位置への有無を確認するための拡大観察装置において、対物部と誘導部とを有し少なくとも該2部間にて光路を変更する光路変更手段を備えた鏡筒部材と、前記誘導部に収納され前記所定物の像を拡大して撮像手段へ送る拡大レンズ群と、前記対物部に配され前記所定物を照明する照明手段とを備えるとともに、前記鏡筒部材は、少なくとも対物部が前記所定位置での前記所定物を確認が可能に位置するよう前記処理装置に支持されていて、撮像手段の光路延長上に位置しない所定物の位置確認を行うようにしたことを特徴とする拡大観察装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 , G01B 11/00 , H04N 5/225 , H05K 13/08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

画像入力装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-174039 Applicant：富士通株式会社
部品実装機の光学撮像装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-018621 Applicant：松下電器産業株式会社

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