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J-GLOBAL ID：200903006590279610

レプリカ回折格子

Inventor： 東南 義貴
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 西岡 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994030273
Publication number (International publication number)：1995239407
Application date： Feb. 28, 1994
Publication date： Sep. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 長寿命型のレプリカ回折格子を提供することを目的とする。【構成】 マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜とレプリカ基板とを接着剤を介して圧接した後剥離させ、該金属薄膜をレプリカ基板に反転接着させる。そして、前記反転接着させた金属薄膜の表面にシリコングリースなどの化学的に不活性な保護層を設ける。

Claim (excerpt)：

マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜とレプリカ基板とを接着剤を介して圧接した後剥離させ、該金属薄膜をレプリカ基板に反転接着させてなるレプリカ回折格子において、前記反転接着させた金属薄膜の表面に化学的に不活性な保護層を設けたことを特徴とするレプリカ回折格子。