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J-GLOBAL ID：200903006618578910

研磨剤スラリ-

Inventor： 山田 勉
Applicant, Patent owner： 株式会社岡本工作機械製作所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998183259
Publication number (International publication number)：2000001666
Application date： Jun. 16, 1998
Publication date： Jan. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】 表面が平坦で、スクラッチ(傷)のない磁気ディスク基板を与える研磨速度が速い研磨剤スラリ-の提供。【解決手段】 a)平均粒径が0.05〜0.5μm の多結晶ダイヤモンド粒子0.05〜0.4重量%、b)アニオン性界面活性剤 0.05〜3重量%、c)水性分散媒 85.6〜99重量%、d)金属石鹸 0〜10重量%、e)研磨助剤 0〜3重量%を含有する研磨剤スラリ-。

Claim (excerpt)：

a)平均粒径が0.05〜0.5μm の多結晶ダイヤモンド粒子 0.05〜0.4重量%、b)アニオン性界面活性剤 0.05〜3重量%、c)水性分散媒 85.6〜99重量%、d)金属石鹸 0〜10重量%、e)研磨助剤 0〜3重量%を含有する研磨剤スラリ-。

IPC (5)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  G11B 5/84 ,  H01L 21/304 622

FI (5)：

C09K 3/14 550 F ,  C09K 3/14 550 Z ,  B24B 37/00 H ,  G11B 5/84 A ,  H01L 21/304 622 D

F-Term (9)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA17 ,  5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112GA14