複数の異なる試料の光学特性を一括して観察・測定する方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：服部修一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003087904
Publication number (International publication number)：2004294293
Application date： Mar. 27, 2003
Publication date： Oct. 21, 2004
Summary：

【課題】円偏光を利用して成分や組成の異なる複数の試料の光学特性を二次元的に一括して評価することを可能とし、希望する試料を速やかに見出し、選択することが出来る観察・測定方法を提供する。【解決手段】光源1、偏光子3、試料保持装置6、検光子9を順次配置した直交偏光子法による光学特性の観察・測定装置において、前記偏光子3と試料保持装置6間に±45°回動させる1/4波長板4を設け、光検出部にCCDカメラ10を配置する。成分や組成の異なる複数の試料を設けた基板18を前記試料保持装置6の所定の位置に挿入し、前記1/4波長板4の回動と、試料保持装置6内のコイルの電流を変化させて、前記1/4波長板4の回転角と前記コイルの電流値に応じた画像を前記CCDカメラ10及びその画像処理装置13を介して電子計算装置15に入力し、各観察・測定条件に応じた画像を一括して画像出力手段16,17によって出力表示させる。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

光源、偏光子、試料保持装置、検光子を順次配置した直交偏光子法による光学特性の観察・測定装置において、前記偏光子と試料保持装置間に±45°回動させる1/4波長板を設けると共に、光検出部に撮像カメラを配置し、成分や組成の異なる複数の試料を設けた基板を前記試料保持装置の所定の位置に挿入し、前記1/4波長板の回動と、試料の偏光の状態を変化させて、前記1/4波長板の回転角と試料の偏光の状態に応じた画像を前記撮像カメラ及びその画像処理装置を介して電子計算装置に入力し、各観察・測定条件に応じた画像を一括して画像出力手段によって出力表示させることを特徴とする複数の異なる試料の光学特性を一括して観察・測定する方法。

IPC (5)：

G01N21/21 , G01J4/04 , G01N21/19 , G11B5/84 , G11B11/105

FI (6)：

G01N21/21 Z , G01J4/04 A , G01J4/04 D , G01N21/19 , G11B5/84 C , G11B11/105 546Z

F-Term (20)：

2G059AA02 , 2G059BB08 , 2G059BB15 , 2G059EE05 , 2G059GG04 , 2G059GG10 , 2G059JJ01 , 2G059JJ02 , 2G059JJ11 , 2G059JJ19 , 2G059JJ20 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM10 , 2G059PP04 , 5D075FF11 , 5D075GG20 , 5D112AA05 , 5D112JJ01 , 5D112JJ10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

物体観察装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-119726 Applicant：株式会社ニコン
円偏光二色性測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-153469 Applicant：松下電器産業株式会社
多種試料の磁気特性測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-111710 Applicant：日立金属株式会社

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