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J-GLOBAL ID：200903006660537701

窒化アルミニウム薄膜-金属電極積層体およびそれを用いた薄膜圧電共振子

Inventor： 山田 哲夫 ,  長尾 圭吾 ,  橋本 智仙
Applicant, Patent owner： 宇部エレクトロニクス株式会社
Agent (1)： 山下 穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001394388
Publication number (International publication number)：2003198319
Application date： Dec. 26, 2001
Publication date： Jul. 11, 2003
Summary：

【要約】【課題】 電気機械結合係数が大きく、音響的品質係数(Q値)、帯域幅、周波数温度特性に優れた薄膜圧電共振子を提供する。【解決手段】 基板12のビアホール20に面する位置にて絶縁体層13を介して下部電極15、c軸配向AlN圧電体薄膜16および上部電極17がこの順に積層された圧電積層構造体14を備える。下部電極15はモリブデン及びタングステンなどの体心立方構造を有する第1の金属層とイリジウム、白金及び金などの面心立方構造を有する第2の金属層との積層を含む2以上の金属層から構成されており、第1の金属層の厚さが下部電極15の厚さの0.5倍以上である。第1の金属層の(110)回折ピークのロッキング・カーブ半値幅(FWHM)が4.5°未満であり、AlN圧電体薄膜16の(0002)回折ピークのロッキング・カーブ半値幅(FWHM)が3.3°未満である。

Claim (excerpt)：

金属電極と該金属電極の上に少なくとも一部が形成されたc軸配向を示す窒化アルミニウム薄膜との積層体であって、前記金属電極が体心立方構造を有する第1の金属層と面心立方構造を有する第2の金属層との積層を含む2以上の金属層から構成されており、前記第1の金属層の厚さが前記金属電極の厚さの0.5倍以上であることを特徴とする窒化アルミニウム薄膜-金属電極積層体。

IPC (2)：

H03H 9/17 ,  H01L 41/09

FI (2)：

H03H 9/17 F ,  H01L 41/08 M

F-Term (6)：

5J108AA07 ,  5J108EE03 ,  5J108FF03 ,  5J108FF05 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02