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J-GLOBAL ID：200903006693748945

静電力駆動小型光スキャナ

Inventor： 豊田 隆一 ,  兼松 修子 ,  東 奈緒子
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992334064
Publication number (International publication number)：1994180428
Application date： Dec. 15, 1992
Publication date： Jun. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、レ-ザレ-ダ用のスキャナとして、またファクシミリやプリンタ-の書き込み用として、また将来の光情報処理分野に利用する1軸方向,2軸方向走査光スキャナに関するもので、構造が複雑で、駆動機構が大きいという従来の問題点を解決し、半導体プロセス加工を用いてミラ-や駆動機構を形成し、超小型の光スキャナを提供するものである。【構成】 半導体レ-ザ光を反射し、X軸,Y軸方向に変位可能なシリコン基板で形成されたミラ-部と、ミラ-部を両側から支持するシリコン基板で形成された梁部と、ミラ-部裏面に対向する位置に配置されたX軸,Y軸方向駆動電極と、電極基板と、駆動電極を絶縁するための絶縁膜と、ミラ-部と駆動電極間のギャップを決める支持スペ-サ部からなり、さらに前記駆動電極の配線部が、ミラ-部に対して駆動電極よりも距離があり、静電力がミラ-部に作用しない平面上に形成されていることにより、超小型の2軸方向走査可能な光スキャナを提供する。

Claim (excerpt)：

半導体レ-ザ光を反射し、X軸方向に変位可能なシリコン基板で形成されたミラ-部と、前記ミラ-部と一体で構成されているが、ミラ-部とは厚さが必ずしも同一ではなく、ミラ-部を両側から支持するシリコン基板で形成されたX軸走査用の梁と、前記X軸走査用の梁と一体でその外側に形成され、前記ミラ-部と直交するY軸方向に変位可能な静電吸引部と前記静電吸引部と一体で構成されているが、静電吸引部とは厚さが必ずしも同一でなく、静電吸引部を両側から支持するシリコン基板で形成されたY軸走査用の梁と、前期ミラ-部を駆動するために、ミラ-部や前記静電吸引部の裏面に対向する位置に配置されたX軸,Y軸方向駆動電極と、前記駆動電極が形成されている電極基板と、前記駆動電極とミラ-部の間に存在し、駆動電極を絶縁するための絶縁膜と、ミラ-の変位に対しミラ-のたわみが生じないように支持し、ミラ-部と駆動電極間のギャップを決める支持スペ-サ部からなり、さらに前記駆動電極の配線部が、ミラ-部に対して駆動電極よりも距離があり、静電力がミラ-部に作用しない平面上に形成されていることを特徴とする2軸方向走査可能な静電力駆動小型光スキャナ。

IPC (5)：

G02B 26/10 101 ,  G02B 26/08 ,  H01S 3/103 ,  H02N 13/00 ,  H04N 1/04 104

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-211217
  
• 特開平4-211218
  
• 特開平3-174112