Pat

J-GLOBAL ID：200903006707591238

反射防止膜を有する光学部材、蒸着膜の形成方法及び蒸着組成物

Inventor： 三石 剛史
Applicant, Patent owner： ホーヤ株式会社
Agent (1)： 塩澤 寿夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992163814
Publication number (International publication number)：1993330849
Application date： May. 29, 1992
Publication date： Dec. 14, 1993
Summary：

【要約】【目的】 低温で蒸着形成しても、耐熱性が良好で、かつ経時的に耐熱性が低下する程度が小さい反射防止膜を有する光学部材、蒸着膜の形成方法及び蒸着組成物の提供。【構成】 基板上に多層反射防止膜を有する光学部材であって、該多層反射防止膜の高屈折率層の少なくとも1層が酸化タンタル、酸化ジルコニウム、酸化イットリウム及び酸化アルミニウムを含有する前記光学部材。酸化タンタル、酸化ジルコニウム及び酸化イットリウムを含有する焼結体である蒸着膜形成用組成物であって、該焼結体がさらに酸化アルミニウムを含有する蒸着組成物。酸化タンタル、酸化ジルコニウム、酸化イットリウム及び酸化アルミニウムの混合粉末を焼結し、得られた焼結体から混合酸化物の上記を発生させ、発生した蒸発物を基板上に析出させることを含む蒸着膜の形成方法。

Claim (excerpt)：

基板上に多層反射防止膜を有する光学部材であって、該多層反射防止膜の高屈折率層の少なくとも1層が酸化タンタル、酸化ジルコニウム、酸化イットリウム及び酸化アルミニウムを含有することを特徴とする前記光学部材。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平3-229202
  
• 特開平2-047044
  
• 特開昭63-197635
  
• 特開平3-242601
  
• 特開平4-128801