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J-GLOBAL ID：200903006707739278

感光性樹脂組成物及びその用途

Inventor： 高 坂 英 治 ,  前 田 誠 二 ,  佐 藤 弘 章
Applicant, Patent owner： 日本合成化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992207562
Publication number (International publication number)：1994027665
Application date： Jul. 09, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 めっき浴浸漬時のレジストの銅基板への密着性が良く、めっきもぐりも少ないという耐めっき性に優れ、かつめっき剥離工程におけるレジストの剥離分散性にも優れた感光性樹脂組成物及びそれを用いたドライフィルムレジスト用積層体を提供すること。【構成】 ベースポリマー、エチレン性不飽和化合物及び光重合開始剤を含んでなる樹脂組成物においてベースポリマーに(メタ)アクリル酸エステル40〜80重量%、(メタ)アクリル酸15〜40重量%及び2-(1-ヒドロキシメチル)アクリル酸アルキルエステル2〜40重量%よりなるアクリル系共重合体を用いた感光性樹脂組成物

Claim (excerpt)：

ベースポリマー、エチレン性不飽和化合物及び光重合開始剤を含んでなる樹脂組成物においてベースポリマーが(メタ)アクリル酸エステル40〜80重量%、(メタ)アクリル酸15〜40重量%及び2-(1-ヒドロキシメチル)アクリル酸アルキルエステル2〜40重量%よりなるアクリル系共重合体であることを特徴とする感光性樹脂組成物

IPC (7)：

G03F 7/033 ,  C23F 1/00 102 ,  C25D 5/02 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H05K 3/00