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J-GLOBAL ID：200903006715613321

ビーム加工装置

Inventor：
宮本 和徳

About 宮本 和徳

, 
小河 道夫

About 小河 道夫

, 
川上 康弘

About 川上 康弘


Applicant, Patent owner：
リコーマイクロエレクトロニクス株式会社

About リコーマイクロエレクトロニクス株式会社


Agent (1)： 黒田 壽
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002337766
Publication number (International publication number)：2003275881
Application date： Nov. 21, 2002
Publication date： Sep. 30, 2003
Summary：
【要約】【課題】 エネルギービームの照射パワーが適正な値になっているか否かを容易に確認でき、加工対象物の種類が変わった場合でも加工対象物に最適なビーム源の最適な駆動条件を容易に見出すことが可能となるビーム加工装置を提供する。【解決手段】 加工対象物に照射されるパルスレーザ光の照射パワーを測定するパワーメータと、YAGレーザ装置の複数の駆動条件を自動的に切り換えながらパルスレーザ光の照射パワーを測定するパワー測定用動作モードと、通常の加工動作モードとを選択的に実行する動作モード選択実行手段とを設ける。YAGレーザ装置の複数の駆動条件を自動的に切り換えながら各駆動条件について加工対象物に加工条件設定用の加工パターンを形成する加工条件設定用動作モードと、通常の加工動作モードとを選択的に実行するようにしてもよい。
Claim (excerpt)：
パルス状のエネルギービームを繰り返し出射するビーム源と、該ビーム源から出射されたエネルギービームを加工対象物に案内して照射するビーム照射手段と、該加工対象物と該加工対象物に対する該エネルギービームの照射ポイントとを相対移動させる相対移動手段と、加工制御データに基づいて該ビーム源及び該相対移動手段を制御する制御手段とを備えたビーム加工装置において、該加工対象物に照射される該エネルギービームの照射パワーを測定するパワー測定手段と、該ビーム源の複数の駆動条件を自動的に切り換えながら該パワー測定手段で該エネルギービームの照射パワーを測定するパワー測定用動作モードと、通常の加工動作モードとを選択的に実行する動作モード選択実行手段とを設けたことを特徴とするビーム加工装置。
IPC (2)：
B23K 26/00 ,  H01S 3/00
FI (2)：
B23K 26/00 N ,  H01S 3/00 B
F-Term (15)：
4E068CA02 ,  4E068CA03 ,  4E068CA18 ,  4E068CB02 ,  4E068CC02 ,  4E068CE01 ,  4E068DA11 ,  5F072AB02 ,  5F072HH02 ,  5F072HH03 ,  5F072JJ08 ,  5F072PP01 ,  5F072QQ02 ,  5F072RR01 ,  5F072YY06
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 導電性膜の加工方法及び装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-056153   Applicant：リコーマイクロエレクトロニクス株式会社
Cited by examiner (8)
  • レーザ加工装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-324491   Applicant：ミヤチテクノス株式会社
  • 特開昭62-104088
  • スキャニング式レーザマーキング方法及び装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-330886   Applicant：ミヤチテクノス株式会社
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