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J-GLOBAL ID：200903006730042160

落射明暗視野照明光学系

Inventor： 田中 隆明
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 向 寛二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992352826
Publication number (International publication number)：1994180426
Application date： Dec. 14, 1992
Publication date： Jun. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、暗視野において拡散板を減らしても照明むらのない明るい落射明暗視野照明光学系を提供することを目的としている。【構成】 本発明の明暗視野照明光学系は、光学系の一部を変化させて明視野照明と暗視野照明との切換えを行なうもので、暗視野照明状態において設計上の光源と実際の光源位置を異ならしめ、上記の両光源位置間の間隔が一定の範囲内になるようにしたことを特徴としている。

Claim (excerpt)：

光源よりの光束をほぼ平行にするためのコレクターレンズを含み該コレクターレンズ以外の光学系の一部分の構成を変化させることによって明視野照明と暗視野照明の切換えを可能にした照明光学系で、光線を追跡する際の設計上の光源位置と前記コレクターレンズの光源側の焦点位置との間隔FLが明視野照明時にはFL≒0であり又暗視野照明時には次の条件を満足する範囲内の値になるようにしたことを特徴とする落射明暗視野照明光学系。0.02f<FL<Dただしfはコレクターレンズの焦点距離、Dは光源に外接する円の直径である。