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J-GLOBAL ID：200903006733185094

ポジ型レジスト組成物

Inventor： 長瀬 恭子 ,  尾崎 晴喜 ,  森馬 洋
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (1)： 諸石 光▲ひろ▼ (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992134863
Publication number (International publication number)：1993323605
Application date： May. 27, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 プロファイル、解像度及び耐熱性等の諸性能に優れたポジ型レジスト組成物を提供する。【構成】下記一般式(I)【化1】(式中、R1 、R2 及びR3 は各々独立して水素原子又は炭素数1〜4のアルキルもしくはアルコキシ基を表わし、kは1又は2を表わす。)で示されるフェノール類の1種もしくは2種以上、下記一般式(II)【化2】(式中、R4'〜R6'は水素原子又はアルキルもしくはアルコキシ基を表わし、nは1又は2を表わす。)で示されるポリフェノール化合物の1種もしくは2種以上及びアルデヒド類を縮合させて得られる樹脂(A)を含むアルカリ可溶性樹脂並びにキノンジアジド化合物を含有してなるポジ型レジスト組成物。

Claim (excerpt)：

下記一般式(I)【化1】(式中、R1 、R2 及びR3 は各々独立して水素原子又は炭素数1〜4のアルキルもしくはアルコキシ基を表わし、k は1又は2を表わす。)で示されるフェノール類の1種もしくは2種以上、下記一般式(II)【化2】(式中、R4'、R5'及びR6'は各々独立して水素原子又は炭素数1〜4のアルキルもしくはアルコキシ基を表わし、n は1又は2を表わす。)で示されるポリフェノール化合物の1種もしくは2種以上及びアルデヒド類を縮合させて得られる樹脂(A) を含むアルカリ可溶性樹脂並びにキノンジアジド化合物を含有してなるポジ型レジスト組成物。

IPC (3)：

G03F 7/023 511 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027