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J-GLOBAL ID：200903006754226939

露光装置用部材

Inventor： 後藤 達也 ,  川上 晃 ,  松本 彰夫
Applicant, Patent owner： 東陶機器株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001306157
Publication number (International publication number)：2003109892
Application date： Oct. 02, 2001
Publication date： Apr. 11, 2003
Summary：

【要約】【課題】 露光装置の大型化、高速化、高精度化に対応する為、荷重による変形が少なく、軽量かつ振動の大きさが小さい構造で露光装置用部材を構成する。【解決手段】 リブ構造を形成するリブの内部につき更にリブ構造として空隙率を高めるとともに高強度化する、又は、部材ヤング率を異方性化する、若しくは、ステージ位置決め用ミラーとテーブルとを一体化することにより、露光装置の大型化、高速化、高精度化の要求に適う、荷重による変形が少なく、軽量かつ振動の大きさが小さい露光装置用部材を構成する。

Claim (excerpt)：

リブ構造をもつ部材の、リブ構造部分の内部構造の一部又は全部がリブ構造であることを特徴とする露光装置用部材。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (3)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A

F-Term (8)：

5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA53 ,  5F031MA27 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02