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J-GLOBAL ID：200903006759839505

強誘電体層の製造方法

Inventor： 宮谷 克明 ,  別府 義久 ,  砂原 一夫
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006264908
Publication number (International publication number)：2007173777
Application date： Sep. 28, 2006
Publication date： Jul. 05, 2007
Summary：

【課題】誘電特性の面内均一性に優れた強誘電体層の製造方法の提供。【解決手段】比較的平均一次粒子径の大きい、板状の結晶性微粒子を湿式で粉砕して、平均一次粒子径が20〜100nmの結晶性微粒子が液状媒体中に分散した分散液を得る工程と、該分散液と、加熱により強誘電性酸化物を形成する可溶性金属化合物とを含む流動性組成物を基体上に塗布し、200〜500°Cで加熱して第1の層41を形成する工程と、前記可溶性金属化合物と、液状媒体とを含み、結晶性微粒子を実質的に含まない流動性組成物を第1の層41上に塗布し、500°C超で加熱して第2の層42を形成する工程と、をこの順に行う。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

下記工程A〜Cを含むことを特徴とする強誘電体層の製造方法。 工程A:平均一次粒子径が100nm以上で、アスペクト比が2以上の板状の形状を有する強誘電体の結晶性微粒子を湿式で粉砕して、平均一次粒子径が20〜100nmの結晶性微粒子が液状媒体中に分散した分散液を得る工程。 工程B:前記分散液と、加熱により強誘電性酸化物を形成する可溶性金属化合物とを含む流動性組成物を基体上に塗布し、200〜500°Cで加熱して第1の層を形成する工程。 工程C:加熱により強誘電性酸化物を形成する可溶性金属化合物と、液状媒体とを含み、前記結晶性微粒子を実質的に含まない流動性組成物を前記第1の層上に塗布し、500°C超で加熱して第2の層を形成する工程。

IPC (4)：

H01L 21/316 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  C04B 35/46

FI (4)：

H01L21/316 B ,  H01L27/10 444C ,  H01L21/316 M ,  C04B35/46 C

F-Term (27)：

4G031AA09 ,  4G031AA11 ,  4G031AA35 ,  4G031BA09 ,  4G031CA08 ,  4G031GA01 ,  4G031GA03 ,  4G031GA04 ,  4G031GA11 ,  4G048AA03 ,  4G048AB02 ,  4G048AC02 ,  4G048AD04 ,  4G048AE05 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BD05 ,  5F058BF46 ,  5F058BH03 ,  5F058BJ04 ,  5F083FR01 ,  5F083JA17 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA43 ,  5F083PR23 ,  5F083PR33

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 国際公開第2005/010636号パンフレット