Pat
J-GLOBAL ID：200903006767208085
表面電位計及び形状測定器、力顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
樺山 亨 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995052409
Publication number (International publication number)：1996248081
Application date： Mar. 13, 1995
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：
【要約】【目的】この発明は、測定誤差を大幅に減少でき、測定を精度良く安定して行うことができ、感度やS/N比を向上できて測定物の表面電位と表面形状を独立に測定でき、かつ、異なる周波数の振動振幅の検出に対する感度やS/N比を向上できるようにすることを目的とする。【構成】 この発明は、導電性探針12と測定物13との間の静電引力により生ずるバネ11の第2振動状態から、バネ11の機械的共振周波数での加振により生ずる第1振動より測定した導電性探針12と測定物13の表面との間の距離の測定結果を補正する補正手段52〜54を備えたものである。
Claim (excerpt)：
測定物に対向配置される導電性探針を先端部に設けたバネを、該バネに機械的に結合したアクチュエータにより前記バネの機械的共振周波数で加振して前記バネに第1振動を生じさせ、前記導電性探針に交流電圧を印加することにより前記導電性探針と前記測定物との間に静電引力を生じさせて該静電引力により前記バネに第2振動を生じさせ、前記第1振動の振幅の減少から前記導電性探針と前記測定物の表面との間の距離を測定し、前記第2振動から前記測定物の表面電位を測定する表面電位計及び形状測定器において、前記第2振動状態から、前記第1振動より測定した前記導電性探針と前記測定物の表面との間の距離の測定結果を補正する補正手段を備えたことを特徴とする表面電位計及び形状測定器。
IPC (4)：
G01R 29/12
, G01B 7/34
, G01N 37/00
, H01J 37/28
G01R 29/12 F
, G01B 7/34 Z
, G01N 37/00 H
, H01J 37/28 Z
