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J-GLOBAL ID：200903006797207890

α,β-不飽和ニトリルを有する脂環式多環族とメタクリレート誘導体との共重合体

Inventor： 野崎 耕司
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 寒川 誠一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992173129
Publication number (International publication number)：1994016730
Application date： Jun. 30, 1992
Publication date： Jan. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 新規な重合体に関し、薄膜化等の加工が容易であり、遠紫外領域における光の透過度が高く、半導体製造におけるフォトレジストにも適した共重合体を提供することを目的とする。【構成】 1-(1′-シアノエテニル)アダマンタンとメタクリレート誘導体とを重合するか、または、2-ノルボルネン-2-カルボニトリルとメタクリレート誘導体とを重合する。

Claim (excerpt)：

下記式(1)【化1】但し、Rはt-ブチル基またはテトラヒドロピラニル基である。で示される繰り返し単位を有することを特徴とする1-(1′-シアノエテニル)アダマンタンとメタクリレート誘導体との重合体。

IPC (3)：

C08F220/18 MLY ,  C08F220/44 MMX ,  C08F232/08 MNV