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J-GLOBAL ID：200903006840019164
加速度センサー
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
石田 長七 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991243975
Publication number (International publication number)：1993080067
Application date： Sep. 25, 1991
Publication date： Mar. 30, 1993
Summary：
【要約】【目的】 耐衝撃性を良好なものとする。【構成】 一端が固着されるセンサー素子1の先端に重り2をつけた片持ち梁型として形成されたものにおいて、センサー素子1の一端側根元部をポッティング材5でポッティングする。あるいはセンサー素子1の電極表面を可撓性保護膜6で被覆する。あるいは重り2とこの重り2を小間隙を介して囲む枠39との間に弾性シート7を介在させる。
Claim (excerpt)：
一端が固着されるセンサー素子の先端に重りをつけた片持ち梁型として形成されたものであって、センサー素子の一端側根元部をポッティング材でポッティングしていることを特徴とする加速度センサー。
Patent cited by the Patent：
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