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J-GLOBAL ID：200903006857500923

被検査体の収納具及びプローブ装置

Inventor： 松田 薫
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 小原 肇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994159427
Publication number (International publication number)：1995098361
Application date： Jun. 18, 1994
Publication date： Apr. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ベア・チップ等が実装されたMCM等の半製品としての被検査体を複数個収納し、各被検査体を連続的且つ円滑に電気的検査に供給できる被検査体の収納具を提供する。【構成】 本被検査体の収納トレイ10は、被検査体20を個別に収納するように区画形成された収納部11と、この収納部11の底面に被検査体20を吸引する際に用いられる吸引孔12とを有するもので、被検査体20の電気的検査を行なう際に、プローブ装置30の検査部33の載置台34に複数の被検査体20を同時に供給することができるものである。

Claim (excerpt)：

被検査体の電気的検査を行なう際に検査部の載置台に複数の被検査体を同時に供給する被検査体の収納具であって、上記被検査体を個別に収納するように区画形成された収納部と、この収納部の底面に形成され且つ被検査体を吸引する際に用いられる吸引孔とを有することを特徴とする被検査体の収納具。

IPC (5)：

G01R 31/28 ,  B65G 1/00 521 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68