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J-GLOBAL ID：200903006873984264

液晶表示パネル

Inventor： 木村 悦子 ,  鈴木 隆 ,  小野 記久雄 ,  三村 秋男 ,  小西 信武
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 鈴木 市郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000365244
Publication number (International publication number)：2001215523
Application date： Sep. 13, 1988
Publication date： Aug. 10, 2001
Summary：

【要約】【課題】 多結晶ITO膜をフツ酸系エツチヤントに対する保護膜として使用した液晶表示パネルを得る。【解決手段】 液晶表示パネルの基板101上に、金属で形成したゲート電極104と、該ゲート電極の上に形成した絶縁膜107と、該絶縁膜の上に形成したキュービック・ビックスバイト型の結晶構造を有する多結晶酸化インジウムスズ膜117と、該多結晶酸化インジウムスズ膜上に形成したソース・ドレイン電極110とを有して構成されている。

Claim (excerpt)：

液晶表示パネルにおいて、該液晶表示パネルの基板上に、金属で形成したゲート電極と、該ゲート電極の上に形成した絶縁膜と、該絶縁膜の上に形成したキュービック・ビックスバイト型の結晶構造を有する多結晶酸化インジウムスズ膜と、該多結晶酸化インジウムスズ膜上に形成したソース・ドレイン電極とを有することを特徴とする液晶表示パネル。

IPC (4)：

G02F 1/1343 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 29/786

FI (5)：

G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 338 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 612 A ,  H01L 29/78 616 V

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特開昭60-097382
  

Cited by examiner (1)

• 特開昭60-097382