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J-GLOBAL ID：200903006891403112
露光装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993140974
Publication number (International publication number)：1994349711
Application date： Jun. 11, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 レチクルに減光特性を持たせ、あるいはレチクル毎に専用の減光フィルタを用意することを要せずして、感光基板に投影されるパターンの像の重ね合わせ部分の露光量を所望の減光特性にしたがって正確に減光させることが可能な露光装置を提供する。【構成】 露光中に超高圧水銀ランプ1からレチクル11に導かれる照明光の光量の積算値を積算露光量計14で検出する。検出された積算値に基づいてレチクル11の照明範囲を規定するブラインド8を駆動して開口Sの大きさを変化させ、感光基板13上での重複領域を所定の減光特性にしたがって減光させる。積算露光量計14の検出値に基づいて所定の減光特性を得るために必要なブラインド8の目標位置を絶えず指定し、指定した目標位置へブラインド8が移動するようにその駆動速度を調整する。
Claim (excerpt)：
光源からの光束をレチクル上に導く照明光学系と、前記光束が通過する開口の面積を調整して当該光束による前記レチクルの照明範囲を規定する絞り部材と、前記光束で照明された前記レチクル上のパターンの像を感光基板上に投影する投影光学系とを備え、前記感光基板上の異なる領域に対して前記パターンの像の端部を重複させつつ露光を行なう露光装置において、一回の露光を行なう際の前記感光基板の露光量の積算値を検出する露光量積算値検出手段と、前記パターンの像の重複領域の露光量が所定の減光特性にしたがって減光するように、前記露光量積算値検出手段が検出した露光量の積算値に基づいて前記絞り部材の位置を露光中に変化させる絞り制御手段と、を備えることを特徴とする露光装置。
IPC (2)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 311 S
, H01L 21/30 311 L
