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J-GLOBAL ID:200903006956638066

レ-ザドプラ方式振動分布測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 外川 英明
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997027761
Publication number (International publication number):1998221159
Application date: Feb. 12, 1997
Publication date: Aug. 21, 1998
Summary:
【要約】【課題】レーザ光を面で照射し、2次元撮像装置で測定することにより駆動機構を不要とし、位置精度のよい振動分布を可能とし、さらに単発的に衝撃が伝播するような振動についても測定が可能となるレーザドップラ式振動測定装置を提供する。【解決手段】所定の波長のレーザ光を発生するレーザ光源と、レーザ光を第1のレーザ光と第2のレーザ光に分岐させる第1の偏光ビームスプリッタと、この分岐された2つのレーザ光のうち少なくとも一方のレーザ光の光路上に設けられる周波数変調手段と、分岐された前記第1のレーザ光を測定対象物に照射し、反射させて得られる反射光と前記第2のレーザ光を再び同軸光路上に導く光学干渉手段と、これらの第1及び第2のレーザ光の重ね合わされた出力光を電気信号に変換する2次元撮像手段と、この2次元撮像手段から出力される電気信号から測定対象物の振動情報を抽出する信号処理手段とを備えることを特徴とする。
Claim (excerpt):
所定の波長のレーザ光を発生するレーザ光源と、前記レーザ光を第1のレーザ光と第2のレーザ光に分岐させる第1の偏光ビームスプリッタと、この分岐された2つのレーザ光のうち少なくとも一方のレーザ光の光路上に設けられる周波数変調手段と、分岐された前記第1のレーザ光を測定対象物に照射し、反射させて得られる反射光と前記第2のレーザ光を再び同軸光路上に導く光学干渉手段と、これらの第1及び第2のレーザ光の重ね合わされた出力光を電気信号に変換する2次元撮像手段と、この2次元撮像手段から出力される電気信号から測定対象物の振動情報を抽出する信号処理手段とを備えることを特徴とするレーザドプラ方式振動分布測定装置。

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